E04100 - SEMI E41 - Exception Management (EM) Standard StdPbc-0326 SEMI E128-0414 (Reapproved 0224)

SEMI E128-0414 (Reapproved 0224)

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This Specification applies to ultra-thin glass with heat-treated technology

In this Standard

As gate dielectric thickness approaches 1 nm

E04100 - SEMI E41 - Exception Management (EM) Standard StdPbc-0326 SEMI E128-0414 (Reapproved 0224)Interactive exception handling enhances the error recovery ability while maintaining automated control in the factory. This standard addresses the communications needs within the semiconductor manufacturing environment with respect to equipment exception handling. This standard specifies capabilities to be provided by the exception agent for effective reporting and interaction with respect to abnormal situations in the equipment. It describes the