Semiconductor Metrology Instruments StdPbc-0522 本スタンダードの適用範囲はAMHSストッカー（ストッカー）の使用と説明に限定されるが，これはGEMモデル（§13にて規定している）準拠のSEMI装置通信標準2（SECS-II）を通してホストは認識することができる。また，SECS通信リンクを通して装置がどのように見えるか規定しているが，装置の内部動作は規定していない。さらに，このクラスすべての装置の基本として特定搬送コマンド状態モデルおよびSC状態モデルを含んでいる。

本スタンダードの適用範囲はAMHSストッカー（ストッカー）の使用と説明に限定されるが，これはGEMモデル（§13にて規定している）準拠のSEMI装置通信標準2（SECS-II）を通してホストは認識することができる。また，SECS通信リンクを通して装置がどのように見えるか規定しているが，装置の内部動作は規定していない。さらに，このクラスすべての装置の基本として特定搬送コマンド状態モデルおよびSC状態モデルを含んでいる。

oxygen plasma may be used separately or in conjunction with these techniques

SEMI P45-1218 (technical revision)

It also promotes compatibility between the user and equipment in the manufacturing environment

注意：SEMI E98は，SEMI E98

Semiconductor Metrology Instruments StdPbc-0522 本スタンダードの適用範囲はAMHSストッカー（ストッカー）の使用と説明に限定されるが，これはGEMモデル（§13にて規定している）準拠のSEMI装置通信標準2（SECS-II）を通してホストは認識することができる。また，SECS通信リンクを通して装置がどのように見えるか規定しているが，装置の内部動作は規定していない。さらに，このクラスすべての装置の基本として特定搬送コマンド状態モデルおよびSC状態モデルを含んでいる。Course Description The THORS Semiconductor Metrology Instruments course introduces the learners to the various instruments used in semiconductor testing. This course focuses on wafer inspection instruments used in semiconductor testing. This course focuses on wafer inspection systems, which are used for identifying defects, and process control metrology instruments, which are used for measuring various aspects of semiconductor manufacturing processes.