E00400 - SEMI E4 - 半導体製造装置通信スタンダード1　メッセージトランスファ（SECS-I） Revision:SEMI E4-0699 (Reapproved 0307) - Superseded orgで入手可能となる。初版は1993年発行。前版は2002年11月発行。

orgで入手可能となる。初版は1993年発行。前版は2002年11月発行。

1適合ウェーハプロセスあるいは検査機器間のインタフェースの一貫した位置決めを容易にすることにある。

it is not possible to determine the rms microroughness from the measured TIS

SEMI E87-0706E2 (editorial revision)

The precision of this Test Method has been established directly only for silicon wafers

E00400 - SEMI E4 - 半導体製造装置通信スタンダード1　メッセージトランスファ（SECS-I） Revision:SEMI E4-0699 (Reapproved 0307) - Superseded orgで入手可能となる。初版は1993年発行。前版は2002年11月発行。NOTICE: This translation is a REFERENCE COPY ONLY. If differences should exist between the English version and a translation in any other language, the English version is the official and authoritative version. SEMI SEMI 1980SECS ISECS IA1.12 SECS I SECS ISECS Ipoint to pointSECS ISEMI E5, SEMI Equipment Communications Standard 2 Message Content 2 (SECS II) SECS Ipoint to pointSECS I R1 1. 1 SECS ISECS IRS 232 C SECS I SECS I SECS IEIA RS 232 CJIS C