E06200 - SEMI E62 - Specification for 300 mm Front-Opening Interface Mechanical Standard (FIMS) StdPbc-1223 This Specification defines a mechanical

This Specification defines a mechanical standard for the stationary (equipment) side of the docking flange used by PGVs

The purpose of this Safety Guideline is to set out the minimum safety and health criteria to be applied to equipment and systems for storage and handling of hydrogen peroxide in the semiconductor and flat panel display industries

Semiconductor factories require high levels of power quality due to the sensitivity of equipment and process controls

本スタンダードは2003年10月に編集上の修正がなされた。§§§3

長年にわたって高速エレクトロニクスおよびオプトエレクトロニクスデバイスの基本構造として広範囲に使用されてきた。ユーザの仕様通りに材料を成長させる，エピタキシャル層のサプライヤがいる。スタンダード化された用語，許容範囲，および推奨されたテスト方法等を定義し，ウェーハ仕様の解釈の曖昧さをなくす必要がある。特に力を入れたのは，均一性の定義である。本文書が扱うのは，基本となる必要条件だけである。実際の製品仕様においてはユーザ，サプライヤ間の更なる要求項目が必要とされる。

E06200 - SEMI E62 - Specification for 300 mm Front-Opening Interface Mechanical Standard (FIMS) StdPbc-1223 This Specification defines a mechanicalNOTICE: This Standard or Safety Guideline has an Inactive Status because the conditions to maintain Current Status have not been met. Inactive Standards or Safety Guidelines are available from SEMI and continue to be valid for use. This Standard specifies the tool side of the interface between a process or metrology tool and a front opening box. This Standard is intended to set an appropriate level of specification that places minimal limits on