E03600 - SEMI E36 - 半導体装置製造情報タグ付け仕様 Revision:SEMI E36-0704 - Inactive 2 — Guide for the

2 — Guide for the Qualification of Polymer Assemblies Used in Ultrapure Water and Liquid Chemical Systems in Semiconductor Process Equipment

3  Values given for thickness

もし説明された水分濃度が，物理の基本的原理に基づいて予測できるなら，この方法は，ppmレンジまたはそれ以下の水分量を供給しているどんなタイプのガスの基準に対しても，適用できると考える。このようにして，分析による特性づけのみにもっぱら依存しているどんなスタンダードも，明確に除外される。

SEMI E123-0703 (designation update)

SEMI F78-0304 (technical revision)

E03600 - SEMI E36 - 半導体装置製造情報タグ付け仕様 Revision:SEMI E36-0704 - Inactive 2 — Guide for theSubordinate Document: SEMI E36. 1 0704 Specification for the Semiconductor Equipment Manufacturing Information Tagging Standard E36 Referenced SEMI Standards None.