E18500 - SEMI E185 - Specification for 300 mm Tape Frame FOUP Revision:SEMI E185-1221 - Superseded SEMI M54-0304 (technical revision)

SEMI M54-0304 (technical revision)

orgで。初版は1996年に発行された。

1-0524 (technical revision)

while maintaining wafer quality

分析された特殊ガスが，特殊ガス製造者またはサプライヤによって保管された際の貯蔵寿命に適用される。本書では，貯蔵寿命は品質の観点でとらえられている。本書はガスの長期保管に関する安全面は取り扱わない。

E18500 - SEMI E185 - Specification for 300 mm Tape Frame FOUP Revision:SEMI E185-1221 - Superseded SEMI M54-0304 (technical revision)1 Purpose 1. 1 The purpose of this Specification is to establish basic physical dimensions for the Tape Frame FOUP which is intended to be used to transport and store 300 mm tape frames, as specified by SEMI G74 and SEMI G87, within IC manufacturing facilities. 2 Scope 2. 1 This Standard specifies the external features and dimensions of the Tape Frame FOUP. 2. 2 This Standard specifies the internal dimensions for storing the tape frames in the Tape