S00800 - SEMI S8 - 半導体製造装置の人間工学エンジニアリングに対する安全ガイドライン StdPbc-0423 自動マテリアルハンドリングシステム（AMHS）は，どの半導体工場でも重要な部分であり，通常実施されていて，別個の論理ソフトウェア要素として製造管理システム（MES）と統合されている。AMHSは，AMHSフレームワーク，AMHS装置のためのシステムコントローラ（ソフトウェア）および搬送，格納マシン（ハードウェア）で構成されている。この伝統に従って，CIMフレームワークは，AMHSを「ブラックボックス」とみなす。このシステムへのインタフェースは目に見えるが，そのシステム内部の動きやコントロールはAMHSサプライヤの責任であって，MESの領域ではない。CIMフレームワークでは，マテリアル搬送・格納コンポーネント（MTSC）をMESレベルでのAMHS機能とのインタフェースと規定している。

自動マテリアルハンドリングシステム（AMHS）は，どの半導体工場でも重要な部分であり，通常実施されていて，別個の論理ソフトウェア要素として製造管理システム（MES）と統合されている。AMHSは，AMHSフレームワーク，AMHS装置のためのシステムコントローラ（ソフトウェア）および搬送，格納マシン（ハードウェア）で構成されている。この伝統に従って，CIMフレームワークは，AMHSを「ブラックボックス」とみなす。このシステムへのインタフェースは目に見えるが，そのシステム内部の動きやコントロールはAMHSサプライヤの責任であって，MESの領域ではない。CIMフレームワークでは，マテリアル搬送・格納コンポーネント（MTSC）をMESレベルでのAMHS機能とのインタフェースと規定している。

11-1106 (Reapproved 1211)

The scope of this Specification and Guide is five Grades and one Tier of hydrogen peroxide used in the semiconductor industry

Because the capabilities defined in the GEM Standard were specifically developed to meet the factory automation requirements of semiconductor manufacturers

) approximately and larger in thickness

S00800 - SEMI S8 - 半導体製造装置の人間工学エンジニアリングに対する安全ガイドライン StdPbc-0423 自動マテリアルハンドリングシステム（AMHS）は，どの半導体工場でも重要な部分であり，通常実施されていて，別個の論理ソフトウェア要素として製造管理システム（MES）と統合されている。AMHSは，AMHSフレームワーク，AMHS装置のためのシステムコントローラ（ソフトウェア）および搬送，格納マシン（ハードウェア）で構成されている。この伝統に従って，CIMフレームワークは，AMHSを「ブラックボックス」とみなす。このシステムへのインタフェースは目に見えるが，そのシステム内部の動きやコントロールはAMHSサプライヤの責任であって，MESの領域ではない。CIMフレームワークでは，マテリアル搬送・格納コンポーネント（MTSC）をMESレベルでのAMHS機能とのインタフェースと規定している。NOTICE: This translation is a REFERENCE COPY ONLY. If differences should exist between the English version and a translation in any other language, the English version is the official and authoritative version. SEMI SEMI SI SI SI 3 7. 3 Referenced SEMI Standards SEMI E95 Specification for Human Interface for Semiconductor Manufacturing Equipment SEMI S2 Environmental, Health, and Safety Guideline for Semiconductor Manufacturing Equipment SEMI S10