P02400 - SEMI P24 - CD Metrology Procedures StdPbc-0417 本方法において標準計量単位は，国際単位系（SI）を使用するものとする。

本方法において標準計量単位は，国際単位系（SI）を使用するものとする。

このデータ構造は，送信されるＸＭＬファイルの階層構造とタグ名及び内容を定義する。このスタンダードによって，特定のデータベースやプログラミング言語が指定されることは無い。

SEMI E45-1101 (technical revision)

이 표준의 범위는 사용자가 요청할 수 있는 장비의 서비스 정보를 정의하는 것이다

This Guide applies to flat or curved samples of arbitrary shape

P02400 - SEMI P24 - CD Metrology Procedures StdPbc-0417 本方法において標準計量単位は，国際単位系（SI）を使用するものとする。This standard was technically approved by the Global Micropatterning Committee and is the direct responsibility of the North American Micropatterning Committee. Current edition approved by the North American Regional Standards Committee on July 11, 2004. Initially available at www. semi. org September 2004; to be published November 2004. Originally published in 1994. NOTICE: This Standard or Safety Guideline has an Inactive Status because the