E00109 - SEMI E1.9 - 300 mmウェーハ搬送および保管用ウェーハカセットの機械仕様 Revision:SEMI E1.9-1106E (Reapproved 0512) - Inactive 本スタンダードのインタフェース仕様は，450mm用テープフレームカセット（450TFC）に準拠するキャリアによって駆動し，結合することを目的としているもので，450TFCに適合している。

本スタンダードのインタフェース仕様は，450mm用テープフレームカセット（450TFC）に準拠するキャリアによって駆動し，結合することを目的としているもので，450TFCに適合している。

This Standard was technically approved by the Liquid Chemicals Global Technical Committee

SEMI MF1569-0307 (Reapproved 0718)

本スタンダードは，FPD用カラーフィルタの耐薬品性を評価するための試験方法を2つ規定する。一方は，定性的であり，もう一方は定量的なものである。

This guideline only defines the zones and volumes for them and the exact placement of them within these zone and volumes are at the direction of the load port suppliers

E00109 - SEMI E1.9 - 300 mmウェーハ搬送および保管用ウェーハカセットの機械仕様 Revision:SEMI E1.9-1106E (Reapproved 0512) - Inactive 本スタンダードのインタフェース仕様は，450mm用テープフレームカセット（450TFC）に準拠するキャリアによって駆動し，結合することを目的としているもので，450TFCに適合している。global Physical Interfaces & Carriers Technical Committee20111224global Audits and Reviews Subcommittee20125www. semiviews. org www. semi. org199420067 : IC300 mm "" 1 2 4 ID 1 2422 10 mm1325 1 ID 1 2 1 2 5 4 1 2 2 2 10 mm 3 15 mm 3 ID 1 Referenced SEMI Standards SEMI E15 Specification for Tool Load Port SEMI E19 Standard Mechanical Interface (SMIF) SEMI E57 Mechanical Specification for Kinematic Couplings Used to Align and Support 300 mm Wafer