C08600 - SEMI C86 - Guide for Ethylene Glycol StdTpc-3DS-IC ID位置を2次元コード基準で位置を規定する。

ID位置を2次元コード基準で位置を規定する。

本スタンダードは，global Flat Panel Display – Materials & Components Technical Committeeで技術的に承認されている。現版は2011年12月24日，global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。2012年4月にwww

本文書は2006年，全面的に改訂された。

org in October 2010

減圧器は，制御されない場合，多数の人工的パーティクルを疑集，疑縮を通して生じ得ることが知られている。この生成を防ぐために，この仕様は200 bar (3000 psi) までの圧力において稼働するパーティクルカウンターを採用し，圧力逓減とそれに関連する問題に対する必要を無くしている。

C08600 - SEMI C86 - Guide for Ethylene Glycol StdTpc-3DS-IC ID位置を2次元コード基準で位置を規定する。The purpose of this Document is to provide a Guide for ethylene glycol for which a need has been identified. The scope of this Document covers grades of ethylene glycol which are used in the semiconductor industry. Referenced SEMI Standards SEMI C1 Guide for the Analysis of Liquid Chemical