E05411 - SEMI E54.11 - エンドポイントデバイスのための特定デバイスモデル Revision:SEMI E54.11-1106 (Reapproved 1211) - Superseded UPW parameters

UPW parameters

4-0998E (Reapproved 0709)

本スタンダードは，プロセス装置または測定装置においてボックスを開け，300 mmウェーハのアンロードおよびロードのためにウェーハハンドラにウェーハを渡すための装置側の機械的インタフェースを規定する。ボックスオープナとローダーユニットは1つ以上の（SEMI E15

It has been replaced by SEMI C97

SEMI E133-1218 (Reapproved 0324)

E05411 - SEMI E54.11 - エンドポイントデバイスのための特定デバイスモデル Revision:SEMI E54.11-1106 (Reapproved 1211) - Superseded UPW parametersglobal Information & Control Technical Committee2011912global Audits and Reviews Subcommittee201112www. semiviews. org www. semi. org2001200611 SEMI E54 : SEMI EPD Referenced SEMI Standards SEMI E39 Object Services Standard: Concepts, Behavior, and Services SEMI E54 Sensor Actuator Network Standard SEMI E54. 1 Standard for Sensor Actuator Network Common Device Model