E15800 - SEMI E158 - 450 mmウェーハ搬送および保管用の工場ウェーハキャリア（450FOUP）とキネマティックカプリングの機械仕様 StdPbc-0820 1 Applicability — This Safety

1 Applicability — This Safety Guideline applies to equipment used to manufacture

注意： 「注」の表題のついた段落は，本安全ガイドラインの公式な一部ではなく，また安全ガイドライン本文の内容の変更や書き換えを意図したものではない。安全ガイドラインの利用を促進するために委員会が提供したものである。

SEMI E82-0701 (technical revision)

a Standard defining the performance of a UPW system

because it does not distinguish the type of center present

E15800 - SEMI E158 - 450 mmウェーハ搬送および保管用の工場ウェーハキャリア（450FOUP）とキネマティックカプリングの機械仕様 StdPbc-0820 1 Applicability — This SafetySEMI SEMI Physical Interfaces & Carriers Global Technical Committee20131223global Audits and Reviews Subcommittee20143www. semiviews. org www. semi. org2010720129 SEMI M74450 mm 450 mm 450 mm 450 mmKCP 3 Referenced SEMI Standards SEMI E144 Specification for RF Air Interface Between RFID Tags in Carriers and RFID Reader in Semiconductor Production and Material Handling Equipment SEMI M74 Specification for 450 mm Diameter Mechanical Handling Polished