E12700 - SEMI E127 - 装置組込み計測モジュール通信の仕様：概念，挙動，サービス（IMMC） StdVol-Facilities previously published November 2001

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半導体装置製造情報タグの目的はマークアップの考え方，マークアップフレームワーク，および下記を促進できるだけの情報マークアップを定義することである：

ローレベルなデバイスに存在するインテリジェンスへのアクセス

This Document provides suggested maximum impurity levels for different grades of oxygen (O2) that are used in the photovoltaic industry

orgで入手可能になり，2003年7月発行に至る。初版は1995年発行。

E12700 - SEMI E127 - 装置組込み計測モジュール通信の仕様：概念，挙動，サービス（IMMC） StdVol-Facilities previously published November 2001global Information & Control Committee20071220global Audits and Reviews Subcommittee20082www. semi. org20083CD ROM20037200711 IMMC IMMC IMMC Subordinate Document: SEMI E127. 1 0308 SECS IIIMMC Referenced SEMI Standards SEMI E5 SEMI Equipment Communications Standard 2 Message Content (SECS II) SEMI E30 Generic Model for Communications and Control of Manufacturing Equipment (GEM) SEMI E30. 5 Specification for Metrology Specific Equipment Model (MSEM)