HB01300 - SEMI HB13 - Specification of Susceptors for HB-LED MOCVD Equipment Communication Interface Revision:SEMI HB13-1219 - Current orgで入手可能となる。初版は年月発行，前版は年月に発行された。 >

orgで入手可能となる。初版は年月発行，前版は年月に発行された。 >

一貫した状態モデルを応用して装置でSEMI E10データ収集を自動的に行うことによって装置サプライヤと装置ユーザの双方が利益を得る。

SEMI P18-92 (Reapproved 1104)

SEMI S2-0712d (delayed revision)

本文件之目的係在提供基準給雇主，使其熟悉環境、衛生及安全事宜。

HB01300 - SEMI HB13 - Specification of Susceptors for HB-LED MOCVD Equipment Communication Interface Revision:SEMI HB13-1219 - Current orgで入手可能となる。初版は年月発行，前版は年月に発行された。 >The purpose of this Standard is to provide a supplement for the equipment automation interface for communication and control of process, automation and metrology equipment used in HB LED manufacturing. It intends to define the data collection for tracking wafer activity when using a susceptor or a wafer carrier. This Standard serves as a reference for both HB LED manufacturers and equipment suppliers. The document details properties and functions of