F09200 - SEMI F92 - 1.5インチタイプ2ファスナー構造サーフェスマウント型ガス供給システム用コンパクトサイズ3ポートコンポーネントの寸法のための仕様 StdPbc-0718 SEMI PV87 — Test Method

SEMI PV87 — Test Method for Peeling Force Between Electrode and Ribbon/Back Sheet

connectors (fittings)

equipment recipe

チューブと評価されているチューブフィッティングの間のシールのみ，本ドキュメントの適用範囲内である。他の全ての装着シールは本ドキュメントの適用範囲外である。

各章節需求的優先順序 — 如果在本基準各章節間的條款內容有所衝突，則提出特定技術問題的主次章節優先於一般概述性的主次章節。

F09200 - SEMI F92 - 1.5インチタイプ2ファスナー構造サーフェスマウント型ガス供給システム用コンパクトサイズ3ポートコンポーネントの寸法のための仕様 StdPbc-0718 SEMI PV87 — Test Methodglobal Gases Technical Committee2012830global Audits and Reviews Subcommittee201210www. semiviews. org www. semi. org2004320123 1. 52 32 308 kPa (44. 7 psia)50 slm20 C 3445 kPa (500 psia) Referenced SEMI Standards SEMI E49. 8 Guide for High Purity and Ultrahigh Purity Gas Distribution Systems in Semiconductor Manufacturing Equipment SEMI F20 Specification for 316L Stainless Steel Bar, Forgings, Extruded Shapes, Plate, and Tubing for Components Used in