P03900 - SEMI P39 - OASISTM – オープン・アートワーク・システム・インターチェンジ・スタンダード（OPEN ARTWORK SYSTEM INTERCHANGE STANDARD） StdPbc-0813 SEMI E128-0706E (editorial revision)

SEMI E128-0706E (editorial revision)

(Table R1-1)

本仕様はSEMIセンサ／アクチュエータ・ネットワーク（SAN）スタンダード・グループの一部であり，CC-Linkスタンダードに基づいた独自の通信プロトコルを規定するものである。本ネットワーク通信スタンダード（NCS）は，明らかにSEMI SANおよびCC-Linkスタンダード全部で一つのオープン・スタンダードを完璧にそして明白に定義している。そのスタンダードは半導体製造装置内でネットワーク化されたデバイスに標準仕様として相互運用性を持たせるための業界独自の方法を提供することになる。

This guideline was technically approved by the Global Micropatterning Committee and is the direct responsibility of the Japanese Micropatterning Committee

本安全ガイドラインは，装置サプライヤ，設備サプライヤ，ユーザのコントラクタ，ユーザといった様々な会社の人々が共有する作業エリアを対象とする。

P03900 - SEMI P39 - OASISTM – オープン・アートワーク・システム・インターチェンジ・スタンダード（OPEN ARTWORK SYSTEM INTERCHANGE STANDARD） StdPbc-0813 SEMI E128-0706E (editorial revision)global Micropatterning Committee2008118global Audits and Reviews Subcommittee20082www. semi. org20083CD ROM20043200511 2001SEMIData Path Task ForceGDSIIGDSIIIC201632 GDSII1 163264 SEMI Data Path Task ForceInternational SematechEDASematech Referenced SEMI Standards None.