E15600 - SEMI E156 - 搬送インタフェースに対する450 mm AMHSストッカーの機械的仕様 Revision:SEMI E156-0710 - Superseded HSMS is intended as an

HSMS is intended as an alternative to SEMI E4 (SECS-I) for applications where higher speed communication is needed or when a simple point-to-point topology is insufficient

本文書ではデバイス構造および挙動を外部から明白に表現するためにModbus/TCPプロトコルを利用する方法が規定されている。このデバイス構造および挙動はTCP/IPネットワーク上のModbus/TCPプロトコルに関して共通デバイスモデル（CDM）および該当する特定デバイスモデル（SDM）で規定されているものである。

Such impurities may be introduced into the wafer during manufacture or during various processing steps

orgで入手可能となる。初版は1998年発行，前版は2009年11月に発行された。

org in October 2011

E15600 - SEMI E156 - 搬送インタフェースに対する450 mm AMHSストッカーの機械的仕様 Revision:SEMI E156-0710 - Superseded HSMS is intended as anglobal Physical Interfaces & Carriers Committee2010430global Audits and Reviews Subcommittee20106www. semi. org 450 FOUP4 A: OHSFOUP1A B: OHTFOUPB2 BSEMI E154 C: OHSFOUPFOUP3C D: FOUPFOUP4D Referenced SEMI Standards SEMI E154 Mechanical Interface Specification for 450 mm Load Port SEMI E158 Mechanical Specification for Fab Wafer Carrier Used to Transport and Store 450 mm Wafers (450 FOUP) and Kinematic Coupling