C02900 - SEMI C29 - Specification and Guide for 4.9% Hydrofluoric Acid (10:1 v/v) StdPbc-0116 remote commands

remote commands

SEMI C1 — Specifications for Reagents

SEMI D34 — Test Method for FPD Polarizing Films

本スタンダードは，適切な仕様レベルを設定することを目的とし，すべてのメカニカルインタフェースにおいてモジュール化と互換性を確保しつつ，技術革新への制限を最小限にしようとするものである。本仕様では，目的とする基板の表面の条件をあまり制限せず，その基板の長さと幅を基準にして各寸法の最大値や最小値を定義することにより，ほとんどの要求条件を代数的に表現している。カセットのメカニカルインタフェースだけが規定されている。すなわち，材料に対する要求条件やミクロでの汚染の制限などは規定されていない。ただし，本スタンダードは色々な設計や材料のカセットがこれに準拠して製造されるようにまとめている。

バックライトユニット

C02900 - SEMI C29 - Specification and Guide for 4.9% Hydrofluoric Acid (10:1 v/v) StdPbc-0116 remote commandsNOTICE: This Standard or Safety Guideline has an Inactive Status because the conditions to maintain Current Status have not been met. Inactive Standards or Safety Guidelines are available from SEMI and continue to be valid for use. 1 Purpose 1. 1 The purpose of this Standard is to standardize requirements for 4. 9% hydrofluoric acid used in the semiconductor industry and testing procedures to support those standards. Test methods have been shown to