T01500 - SEMI T15 - 治具IDの一般仕様 （コンセプト） StdPbc-0622 本仕様では，装置によって自動化された方法あるいは消費者によって特に要求された方法により，データ取得消費者がプロセスデータや操作データを装置と通信する方法について説明する。それには，関連データをグループに整理することにより多数のデータソースをより直接的に有効にしたり，無効にして，消費者がその目的に従って関連データをグループに整理できるための仕組みが含まれる。

本仕様では，装置によって自動化された方法あるいは消費者によって特に要求された方法により，データ取得消費者がプロセスデータや操作データを装置と通信する方法について説明する。それには，関連データをグループに整理することにより多数のデータソースをより直接的に有効にしたり，無効にして，消費者がその目的に従って関連データをグループに整理できるための仕組みが含まれる。

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T01500 - SEMI T15 - 治具IDの一般仕様 （コンセプト） StdPbc-0622 本仕様では，装置によって自動化された方法あるいは消費者によって特に要求された方法により，データ取得消費者がプロセスデータや操作データを装置と通信する方法について説明する。それには，関連データをグループに整理することにより多数のデータソースをより直接的に有効にしたり，無効にして，消費者がその目的に従って関連データをグループに整理できるための仕組みが含まれる。SEMI global Traceability Committeeglobal Audits and Reviews Subcommittee200552020056www. semi. org 20057CD ROM ID ID ID Referenced SEMI Standards SEMI T12 Specification of Tracing Jigs and Implements