S02300 - SEMI S23 - 半導體製造設備之能源、電力、原料節約基準 StdTpc-FPD Masks line dimensions

line dimensions

This Document specifies the external features and dimensions of the 450 mm carrier

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• Raw polymer materials (resins)

これらスタンダードは，プロセスツールポートに関する機械的特徴について規定し，また，ツールの前面ないし表面の特徴についても規定する。これら特徴は，特定の機能のためであるが，特定機能のための設計要求事項を定めるものではない。このインタフェース要求事項は普遍的なものであり，ある特定の搬送様式を奨励することを避けている。したがって，プロセスツールポートと，コンベヤのような連続した直接

S02300 - SEMI S23 - 半導體製造設備之能源、電力、原料節約基準 StdTpc-FPD Masks line dimensions200552020056www. semi. org2005720053200507 SME LCA Referenced SEMI Standards SEMI S2 Environment, Health and Safety Guideline for Semiconductor Manufacturing Equipment SEMI E6 Guide for Semiconductor Equipment Installation Documentation