Strategic Materials Conference (SMC) 2026 Lang-Chinese (Traditional) SEMI M71-0120 (Reapproved 0425)

Name: Strategic Materials Conference (SMC) 2026 Lang-Chinese (Traditional) SEMI M71-0120 (Reapproved 0425)
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Description

SEMI M71-0120 (Reapproved 0425)

fault prediction (FP)

NOTICE: The designation number of T14 was updated during the 0705 cycle to reflect the creation of T14

本スタンダードは，主要となるEQIPに影響するプロセスプログラムのパラメータを操作する能力を要求するものの，本スタンダードはその操作の実行方法は指定しない。例えば，この操作能力を支援し可能にする通信プロトコルあるいは，装置やホストのモデルは定義しない。この適用範囲は，主要となるEQIPおよびそれらのプロセスプログラムのパラメータへの関係を定義することに限定される。

SEMI 3D19-0619 (first published)

Strategic Materials Conference (SMC) 2026 Lang-Chinese (Traditional) SEMI M71-0120 (Reapproved 0425)

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