PV05300 - SEMI PV53 - Test Method for In-Line Monitoring of Flat Temperature Zone in Horizontal Diffusion Furnace Revision:SEMI PV53-0514 (Reapproved 1220) - Current 注意: 本文書は2002年，投票によりSEMI E6の全面改訂として承認された。

注意: 本文書は2002年，投票によりSEMI E6の全面改訂として承認された。

FPD製造装置で0

本スタンダードが意図しているのは，すべてのメカニカルインタフェースにておいて，モジュール性と互換性を確保しながら，技術革新を妨げないよう最小レベルの仕様を定めることである。本仕様におけるほとんどの要求事項は，最大および最小の寸法という形をとっており，表面仕様が要求されることはほとんどない。カセットに対するメカニカルインタフェースだけが規定されており，材料に対する要求事項やパーティクルなどの汚染限度は示されていない。しかしながら，金属製や射出成型プラスチック製のカセットの両方がスタンダードに適合して製造できるように，本スタンダードは作成されている。

This Guide includes the following:

This specification defines lead finishes for plastic packages (e

PV05300 - SEMI PV53 - Test Method for In-Line Monitoring of Flat Temperature Zone in Horizontal Diffusion Furnace Revision:SEMI PV53-0514 (Reapproved 1220) - Current 注意: 本文書は2002年，投票によりSEMI E6の全面改訂として承認された。This Document covers the test method of flat temperature zone in horizontal diffusion furnace including the testing principle, testing devices, environment, testing steps and the calculation of the flat temperature zone. This Test Method is used for testing flat temperature zone in horizontal diffusion furnace. Horizontal PECVD equipment, horizontal vacuum annealing furnace, horizontal alloy furnace and other similar equipments can also be implemented