F08700 - SEMI F87 - 1.125インチタイプ4ファスナー構造サーフェスマウント型ガス供給システム用3ポートコンポーネント（MFC/MFMを除く）の寸法のための仕様 Revision:SEMI F87-1012 - Inactive This edition was approved for

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일반 조항

本安全ガイドラインの目的は，製造環境下のユーザと装置間の融和性を高めるためのものである。以下に示す一般原則は，人間工学設計および装置評価をするために必須である。

quantity and characteristics of alignment targets that are placed on each wafer of a pair of wafers

This Guide is intended for use with other practices and test methods

F08700 - SEMI F87 - 1.125インチタイプ4ファスナー構造サーフェスマウント型ガス供給システム用3ポートコンポーネント（MFC/MFMを除く）の寸法のための仕様 Revision:SEMI F87-1012 - Inactive This edition was approved forglobal Gases Technical Committee2012830global Audits and Reviews Subcommittee201210www. semiviews. org www. semi. org2004320123 1. 1252 34 308 kPa (44. 7 psia)50 slm20 C 3445 kPa (500 psia) Referenced SEMI Standards SEMI E49. 8 Guide for High Purity and Ultrahigh Purity Gas Distribution Systems in Semiconductor Manufacturing Equipment SEMI F20 Specification for 316L Stainless Steel Bar, Forgings, Extruded Shapes, Plate, and Tubing for Components Used