P01100 - SEMI P11 - アルカリ現像溶液に対する全規定度の測定のテスト方法 StdTpc-Gases - Specialty equipment recipes)

equipment recipes)

これらスタンダードは，プロセスツールポートに関する機械的特徴について規定し，また，ツールの前面ないし表面の特徴についても規定する。これら特徴は，特定の機能のためであるが，特定機能のための設計要求事項を定めるものではない。このインタフェース要求事項は普遍的なものであり，ある特定の搬送様式を奨励することを避けている。したがって，プロセスツールポートと，コンベヤのような連続した直接

SEMI M31-0706 (technical revision)

This Specification is limited to wafers which are 200 mm (~8 in

マスフローコントローラ（MFC）は，好ましくない条件のもとで腐食性ガスを制御するために使用されることが多い。この試験方法は，腐蝕によって誘発される欠陥に対する相対的耐性に基づいてMFC設計を区別するのに役立つことを意図している。

P01100 - SEMI P11 - アルカリ現像溶液に対する全規定度の測定のテスト方法 StdTpc-Gases - Specialty equipment recipes)NOTICE: This translation is a REFERENCE COPY ONLY. If differences should exist between the English version and a translation in any other language, the English version is the official and authoritative version. SEMI SEMI global Liquid Chemicals Committee20071220global Audits and Reviews Subcommittee20082www. semi. org199119979 NOTICE: This Standard or Safety Guideline has an Inactive Status because the conditions to maintain Current Status have not