E14100 - SEMI E141 - Guide for Specification of Ellipsometer Equipment for Use in Integrated Metrology StdPbc-0714 この方法は半導体のトランスファモールディングコンパウンドの流動性およびゲル特性をラムフォロアー装置を使って測定する作業手順を定める。

この方法は半導体のトランスファモールディングコンパウンドの流動性およびゲル特性をラムフォロアー装置を使って測定する作業手順を定める。

SOI wafers

SEMI E15-0698E2 (Reapproved 0310)

2  For equipment with continuous flow operation

system) that interact with the equipment

E14100 - SEMI E141 - Guide for Specification of Ellipsometer Equipment for Use in Integrated Metrology StdPbc-0714 この方法は半導体のトランスファモールディングコンパウンドの流動性およびゲル特性をラムフォロアー装置を使って測定する作業手順を定める。NOTICE: This Standard or Safety Guideline has an Inactive Status because the conditions to maintain Current Status have not been met. Inactive Standards or Safety Guidelines are available from SEMI and continue to be valid for use. The application of integrated metrology is anticipated to become a key factor for advanced process control in future integrated circuit (IC) manufacturing. Important parameters, which are typically measured for the