M02300 - SEMI M23 - 鏡面単結晶インジウムリンウェーハの仕様 Revision:SEMI M23-0703 - Superseded 従業員リソースモデルをコンフィグレーションする。

従業員リソースモデルをコンフィグレーションする。

which contain specific messages

irrespective of the technology employed

このスタンダードでは，デバイスが装置のコントロールシステムの一部としてどのようにネットワークで相互に働き合うのかを規定する。

replaced by SEMI PV22)

M02300 - SEMI M23 - 鏡面単結晶インジウムリンウェーハの仕様 Revision:SEMI M23-0703 - Superseded 従業員リソースモデルをコンフィグレーションする。SEMI M23SEMI M23. 60703 Subordinate Standards: SEMI M23. 1 0600 50 mm SEMI M23. 2 1000 3(76. 2mm) SEMI M23. 3 0600 SEMI M23. 4 0999 100 mm SEMI M23. 5 1000 100 mm V GROOVE SEMI M23. 6 0703 150 mm Referenced SEMI Standards SEMI M39 Test Method for Measuring Resistivity and Hall Coefficient and Determining Hall Mobility on Semi Insulating GaAs Single Crystals