E18100 - SEMI E181 - Specification for Panel FOUP for Panel Level Packaging Revision:SEMI E181-0424 - Current ID位置を2次元コード基準で位置を規定する。

ID位置を2次元コード基準で位置を規定する。

EQIPs may be defined for a new equipment type not previously addressed in this Standard

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2を使用すべく改訂がなされてきている。それにもかかわらず，多くの古い校正係数が工業界において通用したまま残っている。

SEMI D35 — Test Method for Measurement of Cold Cathode Fluorescent Lamp (CCFL) Characteristics

E18100 - SEMI E181 - Specification for Panel FOUP for Panel Level Packaging Revision:SEMI E181-0424 - Current ID位置を2次元コード基準で位置を規定する。The purpose of this Specification is to establish basic physical dimensions for the Panel FOUP intended to be used to transport and store panels, as specified by SEMI 3D20 for 510 mm 515 mm panel size and 600 mm 600 mm panel size. This Specification is intended to define the reference planes for the dimensions of the Panel FOUP and the panel load port. This Specification is intended to define a set of requirements to ensure interoperability of load