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It is essentially an online version of the Excel-based fab database that is updated with greater frequency with a user-friendly interface
and wafer to wafer stacking
SEMI E82-1106 (Reapproved 0523)
このスタンダードは，半導体製造ツールでの，SEMIが指定した（共通およびデバイス独自の）デバイスモデルに従って作動するセンサ／アクチュエータネットワーク（SAN）上にある知的デバイスが，相互に通信できるようにするためのDeviceNetプロトコルに基づいて通信使用を定義している。
This Standard is intended to set an appropriate level of specification that places minimal limits on innovation while ensuring modularity and interchangeability at all mechanical interfaces
D02100 - SEMI D21 - FPDマスクパターン精度の用語 StdPbc-0515 It is essentially an onlineglobal Flat Panel Display Committee2006516global Audits and Reviews Subcommittee20066www. semi. org20067CD ROM1992200010 FPD FPD Referenced SEMI Standards None.
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