F07600 - SEMI F76 - Test Method for Evaluation of Particle Contribution from Gas System Components Exposed to Corrosive Gas StdTpc-Package & Chip Carrier Tooling The inner pod is to

The inner pod is to protect reticles from particle contamination

この文書は，FPD用マスクの欠陥用語を定義する。このスタンダードにより，技術会議や商談の場などで使用される用語が明確になり，マスクに関する標準化が促進されることをねらいとしている。

SEMI 3D4-0924 (technical revision)

SEMI E99-1103 (designation update)

シリンダ・ガス中のパーティクル含有量は，時間と共に変化することが知られている。なぜなら，パーティクルは拡散または沈降によりシリンダ壁面に失われ，またフロー・パルスまたは機械的衝撃によりシリンダ壁面から分離するからである。典型的なガスシリンダの取り扱いを表わす最悪の条件下で，パーティクル濃度を測定することが重要である。この仕様は，上述の要求条件を満たす標準衝撃を記述し，また衝撃直後にパーティクルをカウントする手順を提供する。

F07600 - SEMI F76 - Test Method for Evaluation of Particle Contribution from Gas System Components Exposed to Corrosive Gas StdTpc-Package & Chip Carrier Tooling The inner pod is toThis Standard was technically approved by the Gases Global Technical Committee. This edition was approved for publication by the global Audits and Reviews Subcommittee on August 18, 2018. Available at www. semiviews. org and www. semi. org in March 2018; originally published March 2003; previously published November 2010. NOTICE: This Document was reapproved with minor editorial changes. This is a test method to compare gas handling components for