E02000 - SEMI E20 - Cluster Tool Module Interface: Electrical Power and Emergency Off Standard StdPbc-0816 SEMI S22 — Safety Guideline

SEMI S22 — Safety Guideline for Electrical Design of Semiconductor Manufacturing Equipment

1（LonWorks）プロトコルを1～6層およびアプリケーション層で相互に使用するためのフレームワークを提供する。LonMark相互運用ガイドラインが，SEMI CDMおよびSEMI特定デバイスモデル（SDM）に必要な機能を提供していない場合は，そのガイドラインはSEMI固有の強化されたプロファイル要求条件によって拡張される。

• Recipe identification and uniqueness control

and pilot-line fab locations worldwide

このスタンダードは半導体の生産に使われる製造装置に適用される。

E02000 - SEMI E20 - Cluster Tool Module Interface: Electrical Power and Emergency Off Standard StdPbc-0816 SEMI S22 — Safety GuidelineThis standard was technically approved by the global Physical Interfaces & Carriers Committee. This edition was approved for publication by the global Audits & Reviews Subcommittee on August 27, 2010. Initially available at www. semi. org in October 2010. Originally published in 1991; previously published November 2002. NOTICE: This document was balloted and approved for withdrawal in 2010. The purpose of the standard is to specify the Emergency Off