E13000 - SEMI E130 - 300mm環境のプローバ専用装置モデル（PSEM300）に関する仕様 Revision:SEMI E130-1104 - Superseded This standard addresses the communications

This standard addresses the communications with and among modules within a cluster tool for automated control

consistency and reduction to increase confidence in the accuracy and repeatability of EPOC’s

with the purpose of supplying water for use in a variety of applications throughout the site

このガイドの目的は太陽光発電（PV：photovoltaic）製造に使われるプロセス装置，自動化装置，測定装置のITにおける装置の自動化とインテグレーションのインタフェースを定義する。このガイドは，PVの製造者と装置サプライヤの両方の経済的利益を生み出すことを意図している。また，このスタンダードはPV製造者を個々の装置サプライヤの装置とのインタフェースを定義する負担から解放することと，全ての製造装置にわたってレベルアップした機能を促進することが期待されている。また，このガイドは装置サプライヤが現在多様な装置インタフェースを開発し，保守するために使っている労力を減少させるであろう。全体として，コストと新しい製造ラインの立上げ時間の両方を減少させ，業界の能力向上を支援するものとして期待される。

which describe the Die Strength Evaluation Method

E13000 - SEMI E130 - 300mm環境のプローバ専用装置モデル（PSEM300）に関する仕様 Revision:SEMI E130-1104 - Superseded This standard addresses the communicationsglobal Information & Control Committee2010430Global Audits and Reviews Subcommittee20106www. semi. org200311200411 300mmPSEM300PSEM300 Subordinate Document: SEMI E130. 1 1104 (Reapproved 0710) 300mmPSEM300SECS II Referenced SEMI Standards SEMI E5 SEMI Equipment Communication Standard 2 Message Content (SECS II) SEMI E30 Generic Model for Communications and Control of Manufacturing Equipment (GEM) SEMI E37 High Speed SECS Message Services (HSMS)