G08200 - SEMI G82 - Specification for 300 mm Load Port for Frame Cassettes in Backend Process Revision:SEMI G82-0301E (Reapproved 0706) - Superseded This Test Method is used

This Test Method is used to measure die strength for dies from processed wafers

FPD製造に使用するプロセスツールのツールポートに関わる主要な要求事項を規定する。 これら主要要求事項の目的は，それを標準化することによって，搬送装置とツール間のインタフェースをうまく機能させることにある。 この標準化は，搬送装置の選択に自由度を持たせながら，コスト低減に配慮したインタフェースを奨励することを目的とする。

単位 － SI単位系を使用する。

FPD製造装置で0

SEMI M21-0318 (technical revision)

G08200 - SEMI G82 - Specification for 300 mm Load Port for Frame Cassettes in Backend Process Revision:SEMI G82-0301E (Reapproved 0706) - Superseded This Test Method is usedThis Specification defines dimensional requirements for the load port of frame cassette for 300 mm wafer in backend process equipment. It is intended to promote a uniform physical interface between equipment and the factory, to facilitate the use of automated frame cassette transport systems, and or to meet ergonomic requirements for manually loaded equipment. This is a Standard covering equipment for 300 mm frame cassette only. Referenced SEMI