E08500 - SEMI E85 - ベイ間搬送システム用AMHSストッカーの共用性に関する仕様 StdTpc-Scanning Surface Inspection Systems 本スタンダードの範囲は，特定の装置プロセスのタイプの主要なEQIPを特定することに限られる。その中ではプロセスプログラムの設定可能なパラメータの中で，ここで言うEQIPに影響するものが最低１つは含まれるリストを装置は示さなければならない。ならびにSEMIスタンダードで許される方法を使用してこれらのパラメータをそれぞれ個別に操作できなければならないことが案内される。本スタンダードは，すべての品質パラメータを特定することは意図しない。完全に装置タイプを指定することも意図していない。

本スタンダードの範囲は，特定の装置プロセスのタイプの主要なEQIPを特定することに限られる。その中ではプロセスプログラムの設定可能なパラメータの中で，ここで言うEQIPに影響するものが最低１つは含まれるリストを装置は示さなければならない。ならびにSEMIスタンダードで許される方法を使用してこれらのパラメータをそれぞれ個別に操作できなければならないことが案内される。本スタンダードは，すべての品質パラメータを特定することは意図しない。完全に装置タイプを指定することも意図していない。

such as gold (Au) films

SEMI C54 — Specifications and Guidelines for Oxygen

SEMI E87-1000 (technical revision)

SEMI F72-0309 (technical revision)

E08500 - SEMI E85 - ベイ間搬送システム用AMHSストッカーの共用性に関する仕様 StdTpc-Scanning Surface Inspection Systems 本スタンダードの範囲は，特定の装置プロセスのタイプの主要なEQIPを特定することに限られる。その中ではプロセスプログラムの設定可能なパラメータの中で，ここで言うEQIPに影響するものが最低１つは含まれるリストを装置は示さなければならない。ならびにSEMIスタンダードで許される方法を使用してこれらのパラメータをそれぞれ個別に操作できなければならないことが案内される。本スタンダードは，すべての品質パラメータを特定することは意図しない。完全に装置タイプを指定することも意図していない。NOTICE: This translation is a REFERENCE COPY ONLY. If differences should exist between the English version and a translation in any other language, the English version is the official and authoritative version. SEMI SEMI Physical Interfaces & Carriers Global Technical Committee2008829global Audits and Reviews Subcommittee200810www. semi. org1999620057 300 mm AMHS6 A B C D E F (a)3()3() 300 mm AMHS300 mm AMHSSEMI E15. 1 Referenced SEMI Standards SEMI