E16200 - SEMI E162 - 450 mmフロントオープニング・シッピングボックス・ロードポートのためのメカニカルインタフェースの仕様 StdTpc-XML which is commonly applied in

which is commonly applied in both applications

org January 2000

SEMI E82-0705 (technical revision)

本スタンダードは，Physical Interfaces & Carriers Global Technical Committeeで技術的に承認されている。現版は2010年4月30日，global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。2010年6月にwww

本文書の目的は， テスト装置から歩留り管理システムに，特定のデータを渡すためのフォーマットの標準化である。歩留り管理システムは，データサーバの一種であり，ベアウェーハやパターン付きウェーハの欠陥データを管理するシステムである。

E16200 - SEMI E162 - 450 mmフロントオープニング・シッピングボックス・ロードポートのためのメカニカルインタフェースの仕様 StdTpc-XML which is commonly applied inglobal Physical Interfaces & Carriers Committee2010827global Audits and Reviews Subcommittee201111www. semiviews. org www. semi. org201111 450mmFOSB SEMI450mm FOSB Referenced SEMI Standards SEMI E154 Mechanical Interface Specification for 450 mm Load Port SEMI M80 Mechanical Specification for Front Opening Shipping Box Used to Transport and Ship 450 mm Wafers