A00400 - SEMI A4 - Specification for the Automated Test Equipment Tester Event Messaging for Semiconductors (TEMS) Revision:SEMI A4-0421 - Superseded 3を全面改訂したものであり，初版は1990年，1992年，1995年にそれぞれ発行，前版は1999年6月発行。

3を全面改訂したものであり，初版は1990年，1992年，1995年にそれぞれ発行，前版は1999年6月発行。

本文件适用于未使用的关键腔室部件（CCC）或其零件。

HPW is typically produced for this purpose using Reverse Osmosis/Deionized resin bed technologies

SEMI C58 — Specifications and Guidelines for Hydrogen

これらの寸法は，主として

A00400 - SEMI A4 - Specification for the Automated Test Equipment Tester Event Messaging for Semiconductors (TEMS) Revision:SEMI A4-0421 - Superseded 3を全面改訂したものであり，初版は1990年，1992年，1995年にそれぞれ発行，前版は1999年6月発行。NOTICE: The designation of SEMI A4 was updated during the 0821 publishing cycle to reflect the publication of SEMI A4. 1. 1 Purpose 1. 1 Semiconductor test operations involving automated test equipment (ATE) today are experiencing increasing use of data for real time data analysis and real time ATE input and control, to improve test yield, throughput, efficiency, and product quality. At the same time, test equipment and test operations around the