M04100 - SEMI M41 - 電源デバイス／IC用シリコン・オン・インシュレーター（SOI）の仕様 StdPbc-0622 9-96 (first published)

9-96 (first published)

• Carrier transfer between automated material handling system (AMHS) vehicles and production equipment load ports

半導体製造は，ミニエンバイロメントや製造装置内で行われることが多くなっている。静電気に関連した問題の多くは，その製品がキャリア内にある間，キャリアからの移載，または，製造装置により取り扱われるる際に引き起こされる。

SEMI E89 — Guide for Measurement System Analysis (MSA)

SEMI M12-0706 (Reapproved 0318)

M04100 - SEMI M41 - 電源デバイス／IC用シリコン・オン・インシュレーター（SOI）の仕様 StdPbc-0622 9-96 (first published)global Silicon Wafer Committee2007425global Audits and Reviews Subcommittee20076www. semi. org20077CD ROM20006200111 ICSOI Referenced SEMI Standards SEMI M1 Specifications for Polished Monocrystalline Silicon Wafers SEMI M34 Guide for Specifying SIMOX Wafers SEMI M53 Practice for Calibrating Scanning Surface Inspection Systems Using Certified Depositions of Polystyrene Latex Spheres on Unpatterned