F04800 - SEMI F48 - Test Method for Determining Trace Metals in Polymer Materials Revision:SEMI F48-0600 (Reapproved 0709) - Superseded This Standard is designed to

This Standard is designed to be updated as EQIPs are identified for new and/or existing equipment process types in this Standard

capacity ramp

SEMI 3D11-1214 (first published)

SEMI C28-0704 (technical revision)

このテスト方法を複数のシリンダに対して使用する場合は，各シリンダをテストしなければならない。シリンダ・ガス中のパーティクル汚染は個別のシリンダの取り扱い履歴と強い関係があることが知られている。同時に充填した複数のシリンダは，それぞれ異なるユーザから異なる期間の使用の後に返却されるのが通常である。同時に充填したシリンダに対する品質の統一には，各シリンダについて充填以前の履歴の跡を消し去る専用の処理が必要である。従って，10%または20%のバッチ・サンプリングでは，シリンダごとの重大な差異があるため受け入れられない。

F04800 - SEMI F48 - Test Method for Determining Trace Metals in Polymer Materials Revision:SEMI F48-0600 (Reapproved 0709) - Superseded This Standard is designed toNOTICE: This Standard or Safety Guideline has Inactive Status because the conditions to maintain Current Status have not been met. Inactive Standards or Safety Guidelines are available from SEMI and continue to be valid for use. 1 Purpose 1. 1 This Test Method provides a procedure for determining the nonvolatile trace inorganic impurities in bulk polymeric materials. 2 Scope 2. 1 Following digestion by dry ashing (DDA) or digestion in closed vessel