MS00800 - SEMI MS8 - Guide to Evaluating Hermeticity of Microelectromechanical Systems (MEMS) Packages Revision:SEMI MS8-0309 (Reapproved 0622) - Current The surface characterization tests to

The surface characterization tests to be performed are specified herein

本スタンダードは，global Silicon Wafer Committeeで技術的に承認されている。現版は2008年8月29日，global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。2008年10月にwww

orgで入手可能となる。初版は1996年に発行，前版は2005年3月に発行された。

本スタンダードは，global Gases Committeeで技術的に承認されている。現版は2009年1月2日，global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。2009年2月にwww

a definition of the wafer transport plane within process modules is required

MS00800 - SEMI MS8 - Guide to Evaluating Hermeticity of Microelectromechanical Systems (MEMS) Packages Revision:SEMI MS8-0309 (Reapproved 0622) - Current The surface characterization tests toMicroelectromechanical systems (MEMS) are miniaturized systems requiring packaging for environmental protection and for interconnection. While there are a wide range of MEMS devices, a common need is for packaging that allows movement of the internal device during operation. This is in contrast to the typical integrated circuit that requires only that the device be protected from the environment and that appropriate interconnections are made. In many