E05410 - SEMI E54.10 - in-situパーティクルモニターデバイスのためのセンサ/アクチュエータネットワーク特定デバイスモデルの仕様 Revision:SEMI E54.10-0600 (Reapproved 1106) - Superseded • Load port scheduling including

• Load port scheduling including a queuing of multiple CLJs on one load port

本ガイドの主な焦点は，半導体デバイスの製造に使用される半導体製造装置であるが，本ガイドは，関連製品（例えば，液晶やMEMS）の製造に使用される装置に適用される場合もある。

SEMI E47-0301 (technical revision)

UPW is used extensively in the production of semiconductor devices for all wet-processing steps

本仕様はSEMIセンサ／アクチュエータネットワーク（SAN）スタンダードの一部であり，PROFINETスタンダードを基本とした特定の通信プロトコルを定義する。本ネットワーク通信スタンダード（NCS）をSEMIセンサ／アクチュエータネットワーク・スタンダード・セットおよびPROFINETスタンダードと合わせると，半導体製造装置においてネットワーク化されたデバイスの既成の相互運用性に対する業界特有のソリューションを提供するオープン・スタンダードが完全かつ明瞭に定義される。

E05410 - SEMI E54.10 - in-situパーティクルモニターデバイスのためのセンサ/アクチュエータネットワーク特定デバイスモデルの仕様 Revision:SEMI E54.10-0600 (Reapproved 1106) - Superseded • Load port scheduling includingglobal Information & Control Technical Committee2011912global Audits and Reviews Subcommittee201111www. semiviews. org www. semi. org20005200611 SEMI E54 : SEMI In Situ Referenced SEMI Standards SEMI E39 Object Services Standard: Concepts, Behavior, and Services SEMI E54 Sensor Actuator Network Standard SEMI E54. 1 Standard for Sensor Actuator Network Common Device Model