E08400 - SEMI E84 - 캐리어 핸드오프 병렬 I/O 인터페이스 강화 사양 StdPbc-0313 9 危険電圧ないしは危険電気エネルギーに対する活線作業

9 危険電圧ないしは危険電気エネルギーに対する活線作業

XML Three Tier Model Architecture

本文書はレチクルを扱う装置でのホスト・装置間通信に関する暫定スタンダードである。装置にはレチクルポッドの内外でレチクルを扱う装置だけが含まれる。

as described herein

and stating result in the form of a numerical rating

E08400 - SEMI E84 - 캐리어 핸드오프 병렬 I/O 인터페이스 강화 사양 StdPbc-0313 9 危険電圧ないしは危険電気エネルギーに対する活線作業Global Physical Interfaces & Carriers Committee , 2009 9 4 Global Audits and Reviews Subcommittee . 1999 6 , 2007 11 . 2009 10 www. semi. org . , FOUP (open cassettes) (carrier) (AMHS) . AMHS (PI O) (control) (carrier) (handoff) ( ) . (carrier) SEMI E23 I O . (handoff), (handoff) , . (, AGV, RGV OHT AMHS ) (, ; ) (handoff) , (interbay) AMHS (, OHS ) (, OHS ) . AMHS (handoff) (carrier) I O . Figure 1 2 AHMS . (carrier) (handoff) I O : ( 6. 1) (carrier)