M00900 - SEMI M9 - 鏡面単結晶ガリウムヒ素スライスの仕様 Revision:SEMI M9-0708 - Superseded SEMI C79 — Guide to

SEMI C79 — Guide to Evaluate the Efficacy of Sub-15 nm Filters Used in Ultrapure Water (UPW) Distribution Systems

SEMI G16-83 (first published)

in-depth analysis of capital expenditure

In order to assist users

現在，SEMIスタンダードにXML（eXtensible Markup Language）表記法を含めることは，業界内でXML技術に対する関心が高まっていることを反映している。本ガイドは，SEMIスタンダードにおいてXMLプロトコルに対する準備をおこない，XMLのスタイルと使用方法に関する一貫性を確立するための最初のステップである。本文書に記載される推奨事項は，XMLベースのスタンダードを定義し，準拠することを意図している。また，本文書では，標準化およびさらなる作業が必要となる可能性がある領域を強調することも試みる。

M00900 - SEMI M9 - 鏡面単結晶ガリウムヒ素スライスの仕様 Revision:SEMI M9-0708 - Superseded SEMI C79 — Guide toglobal Compound Semiconductor Materials Committee20101221global Audits and Reviews Subcommittee20112www. semiviews. org www. semi. org198620083 2 Subordinate Documents: SEMI M9. 1 96E (Reapproved 0308) Standard for Round 50. 8 mm Polished Monocrystalline Gallium Arsenide Wafers for Electronic Device Applications SEMI M9. 2 96E (Reapproved 0308) Standard for Round 76. 2 mm Polished Monocrystalline Gallium Arsenide Wafers for Electronic Device