M02400 - SEMI M24 - 鏡面単結晶プレミアムシリコンウェーハの仕様 Revision:SEMI M24-0612 - Inactive A similar unit without the

A similar unit without the box opening function may be compatibly designed to facilitate placement of an open cassette (e

本スタンダードは，300 mmウェーハの工場間輸送用狭ピッチフロントオープニングボックス（FOBIT: front-opening box for interfactory transport）について部分的に規定する。ウェーハを25枚収納できるが，物理容積が13枚ウェーハのFOUPとほぼ同じであるこの狭ピッチのボックスは，IC生産工場間のウェーハ輸送コストを低減することを目的とする。業界の現在の300 mm技術を活用するために，この狭ピッチのフロントオープニングボックスは，SEMI E62で規定されている13枚ウェーハ用のFIMSとインタフェースするものとする。

org發行線上版本，2005年7月發行光碟版。初版於2005年3月發行，2005年07月預定公開。

or filmed semiconductor wafer surfaces

This Test Method covers the determination of the interstitial oxygen content of single crystal silicon by measurement of an infrared absorption band at room temperature

M02400 - SEMI M24 - 鏡面単結晶プレミアムシリコンウェーハの仕様 Revision:SEMI M24-0612 - Inactive A similar unit without theglobal Silicon Wafer Committee20061121global Audits and Reviews Subcommittee20072www. semi. org20073CD ROM1994200511 150300 mm Referenced SEMI Standards SEMI M1 Specifications for Polished Mono crystalline Silicon Wafers SEMI M18 Guide for Developing Specification Forms for Order Entry of Silicon Wafers SEMI M45 Provisional Specification for 300 mm Wafer Shipping System SEMI M59 Terminology for Silicon Technology