C05900 - SEMI C59 - Specification for Nitrogen Revision:SEMI C59-1104 - Superseded 本スタンダードは，global Gases Technical Committeeで技術的に承認されている。現版は2011年12月24日，global Audits

本スタンダードは，global Gases Technical Committeeで技術的に承認されている。現版は2011年12月24日，global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。2012年2月にwww

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SEMI 3D4-0924 (technical revision)

as considered in this Guide may include two or more wafers

FPDプロセスのすべての工程に適用できる。データマトリクスコードのフォーマットとアルゴリズムは，ISO/IEC 16022に規定された二次元記号表示に準拠している。

C05900 - SEMI C59 - Specification for Nitrogen Revision:SEMI C59-1104 - Superseded 本スタンダードは，global Gases Technical Committeeで技術的に承認されている。現版は2011年12月24日，global AuditsThis Standard was technically approved by the Gases Global Technical Committee. This edition was approved for publication by the global Audits and Reviews Subcommittee on December 8, 2016. Available at www. semiviews. org and www. semi. org in March 2017; originally published November 2002; previously published February 2011. The purpose of this Document is to provide a series of specifications for different grades of nitrogen (N2) that are used in