PV00200 - SEMI PV2 - PV製造装置通信インタフェース(PVECI) StdPbc-0423 本仕様は，150 mm/200 mmのポッドについて，ハンドルの寸法と配置を定める。これらは，自動操作であるが，手動操作も考慮している。個々の手動ハンドルの設計は，この基準の寸法的な制限内で完成させることは自由である。

本仕様は，150 mm/200 mmのポッドについて，ハンドルの寸法と配置を定める。これらは，自動操作であるが，手動操作も考慮している。個々の手動ハンドルの設計は，この基準の寸法的な制限内で完成させることは自由である。

4-1022 (Reapproved 0224)

·    Robots and factory interfaces

SEMI C23-0714 (technical revision)

SEMI M53-0309 (technical revision)

PV00200 - SEMI PV2 - PV製造装置通信インタフェース(PVECI) StdPbc-0423 本仕様は，150 mm/200 mmのポッドについて，ハンドルの寸法と配置を定める。これらは，自動操作であるが，手動操作も考慮している。個々の手動ハンドルの設計は，この基準の寸法的な制限内で完成させることは自由である。global Photovoltaic Committee2009513global Audits and Reviews Subcommittee20096www. semi. org20097CD ROM 200911Vsss. ssEsss. ssPV02. 00 PVphotovoltaicITPVPV ITSEMIPV Referenced SEMI Standards SEMI E5 SEMI Equipment Communications Standard 2 Message Content (SECS II) SEMI E10 Specification for Definition and Measurement of Equipment Reliability, Availability, and Maintainability (RAM) SEMI E30 Generic Model for Communications and Control of