P02400 - SEMI P24 - CD測長手順 StdVol-Equipment Automation Software Procedures to obtain a representative

Procedures to obtain a representative value of roughness for a surface are specified

This Standard uses SI units

SEMI E168-0915 (designation update)

SEMI F27-0997 (Reapproved 1103)

このガイドにはコンピュータ統合生産（CIM）環境においてアプリケーションコンポーネントが協調し，そのコンポーネントを実用的に統合する為に必要な作業を削減できるテクニカルアーキテクチャが記述されている。CIMフレームワークテクニカルアーキテクチャガイドは公開されている分散オブジェクトコンピューティング仕様が元になっている。ここではコンポーネントの相互運用性，代替性，および拡張性を向上させるのに必要なテクニカルインフラストラクチャに関する製造システムの要求事項を定義してある。本文書はコンポーネントを規定するためのガイドであり，ここには基礎となる分散オブジェクト通信インフラストラクチャの使用に関するオプションが書かれている。

P02400 - SEMI P24 - CD測長手順 StdVol-Equipment Automation Software Procedures to obtain a representativeNOTICE: This translation is a REFERENCE COPY ONLY. If differences should exist between the English version and a translation in any other language, the English version is the official and authoritative version. SEMI SEMI Global Micropatterning CommitteeNorth American Microlithography Committee2004711North American Regional Standards Committee20049www. semi. org2004111994 NOTICE: This Standard or Safety Guideline has an Inactive Status because the