G09200 - SEMI G92 - 450 mmウェーハ用テープフレームカセットの仕様 Revision:SEMI G92-0412 - Superseded together with the Sensor/Actuator Network

together with the Sensor/Actuator Network Standard

restrictors

SEMI MF1535-1015 (Reapproved 1121)

SEMI E103 — Mechanical Specification for a 300 mm Single-Wafer Box System that Emulates a FOUP

管サンプルは有用な結果を得るには相当長く（3～4メートルで）なければならない。しかし，それらを実際にテスト作業台に載せるためU字形に曲げることができる。曲率半径は管の内径の6倍以上とする必要がある。また曲げる個所はできるだけ少なくするべきである。現在，超高純度部品は大多数が金属ガスケットコネクタを付けて供給される。したがって，使用されるテスト作業台はこれに合うコネクタを備えているべきである。この種の継手は通常，管に溶接されているがこれは推奨できない。実験結果にバラツキを生じそれが管理できないからである。その代わりとして，管の圧縮継手または適切なアダプタを使用すべきである。圧縮継手は最初に接続してから一連のテストが終わるまで外すべきではない。こうすれば，接続が完全に維持できる。ガスケットを圧縮継手に接続するアダプタは同じ種類のアダプタを使用して，全ての管サンプルをテストすべきである。

G09200 - SEMI G92 - 450 mmウェーハ用テープフレームカセットの仕様 Revision:SEMI G92-0412 - Superseded together with the Sensor/Actuator NetworkAssembly & Packaging Global Technical Committee2013822global Audits and Reviews Subcommittee201311www. semiviews. org www. semi. org20124 450mm PGVAGVOHT450mm 450mm450mm(TFC) 1325 3 6 Referenced SEMI Standards SEMI G88 Specification for Tape Frame for 450 mm Wafer