G09800 - SEMI G98 - Specification for Coefficient of Thermal Expansion (CTE) of Encapsulation Materials for Wafer Level Packaging and Panel Level Packaging StdPbc-1112 この仕様書は,SEMI E54の主要な部分である,共通デバイスモデル(CDM)と規定済みの特定デバイスモデル(SDM)との関係を定義する。この仕様書は,CDMの仕様書といくつかのSDMの仕様書,およびMECHATROLINKで公開されている仕様書と合わせて使用される。
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