Historical Silicon Wafer shipment (MSI) Report (1995-2020) StdPbc-0520 この文書では,SEMI E78,SEMI E129,SEMI E43とその他の静電気パラメータの測定方法を参照している。これらの文書は,広範囲の条件下での静電気リスクの異なった側面を管理するためのガイダンスを提供する補足的なものである。
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