E15700 - SEMI E157 - モジュールプロセストラッキングの仕様 StdPbc-1016 Only the mechanical interfaces for

Only the mechanical interfaces for cassettes are specified

オペレーションに対するコントロール量が増加しているため，工場のイベントおよび状態変化に対応でき，材料処理，材料搬送および装置メンテナンスに関するスケジュールを動的に調整できるアクティブなスケジューリングコンポーネントが必要とされている。スケジューリングコンポーネントは，待ち行列のサイズを最小限に抑え，かつ，WIPインベントリレベルを希望レベルに保ってボトルネックの装置を最大限効率よく使用できるようにするために，プライオリティを調節して，工場にある材料のインベントリレベルに反応することができる。

このスタンダードの目的は，装置情報システムのセキュリティのための共通の基盤を確立することである。これにより，情報セキュリティの概念や対策を示唆し，それらをユーザおよび半導体製造装置のサプライヤ間で共有できるようにする。

and microfluidic devices including valves and pumps

it has not been formally approved by SEMI balloting procedures and does not adhere either to SEMI Regulations dealing with patents or to SEMI Editorial Guidelines

E15700 - SEMI E157 - モジュールプロセストラッキングの仕様 StdPbc-1016 Only the mechanical interfaces forglobal Information & Control Committee20101221global Audits and Reviews Subcommittee20112 www. semiviews. org www. semi. org20106 Standard Referenced SEMI Standards SEMI E5 SEMI Equipment Communications Standard 2 Message Content (SECS II) SEMI E30 Generic Model for Communications and Control of Manufacturing Equipment (GEM) SEMI E40 Standard for Processing Management SEMI E87 Specification for Carrier Management (CMS) SEMI E90 Specification for