F06500 - SEMI F65 - ミリサイズのPFAチューブとともに使用するダイアフラムバルブの取付ベースの寸法仕様 Revision:SEMI F65-1101 - Inactive これらのシリコンウエハを用いて太陽電池セルを製造する工程では，機械的応力や熱応力の作用によって，ウエハに欠け，スクラッチ，クラック等のマクロな欠陥がしばしば発生する。欠け，スクラッチはクラックが発生する要因になり得る。

これらのシリコンウエハを用いて太陽電池セルを製造する工程では，機械的応力や熱応力の作用によって，ウエハに欠け，スクラッチ，クラック等のマクロな欠陥がしばしば発生する。欠け，スクラッチはクラックが発生する要因になり得る。

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A change was made to correct a nonconforming title per the Procedure Manual

OBEM仕様を暫定版でなくするためには，以下の項目を完成しなければならない。

This Specification is intended to enable reliable and safe product authentication and traceability through systemization for the semiconductor industry

F06500 - SEMI F65 - ミリサイズのPFAチューブとともに使用するダイアフラムバルブの取付ベースの寸法仕様 Revision:SEMI F65-1101 - Inactive これらのシリコンウエハを用いて太陽電池セルを製造する工程では，機械的応力や熱応力の作用によって，ウエハに欠け，スクラッチ，クラック等のマクロな欠陥がしばしば発生する。欠け，スクラッチはクラックが発生する要因になり得る。NOTICE: This translation is a REFERENCE COPY ONLY. If differences should exist between the English version and a translation in any other language, the English version is the official and authoritative version. SEMI SEMI global Liquid Chemical Distribution Systems Committee200183Japanese Regional Standards Committee20019www. semi. org200111 NOTICE: This Standard or Safety Guideline has an Inactive Status because the conditions to maintain Current